維薩拉助力準確測量半導體製造過程的關鍵參數

半導體(ti) 製造業(ye) 流傳(chuan) 著一句話：“這不是火箭科學，但比火箭科學難多了！"雖是玩笑話，卻從(cong) 一定程度上反映了事實：半導體(ti) 製造過程既複雜又耗時，製造周期長達12到20周。製造半導體(ti) 所需的初期投資巨大，製造流程需要的設備非常昂貴。在新一輪投資周期開始之前，一個(ge) 製造周期通常會(hui) 持續大約六年，並且整個(ge) 生產(chan) 過程的利潤率相對較低，這意味著隻有高產(chan) 量才能保證盈利。因此，避免生產(chan) 廢品和不良品至關(guan) 重要。

　　
水是半導體(ti) 製造過程中影響較大的汙染物之一，一些預估表明，不合適的濕度條件造成的損失占收入損失的25%。為(wei) 避免產(chan) 品質量和產(chan) 量出現問題，在半導體(ti) 製造過程中必須尤為(wei) 謹慎地監測濕度和溫度水平。維薩拉的高精度測量解決(jue) 方案適用於(yu) 製造工藝流程中的關(guan) 鍵步驟，響應非常迅速，且能夠適應各種環境條件。在本篇文章中，我們(men) 將介紹濕度、水分、微量水分相關(guan) 濕度、露點和霜點等參數。

　　
高科技納米級半導體(ti) 製造：

對於(yu) 高科技納米級半導體(ti) 製造等超純應用，在去除灰塵、油脂和其他汙染元素等雜質後，可能會(hui) 殘留微量水分。這可能會(hui) 對產(chan) 品質量和產(chan) 量產(chan) 生負麵影響。雖然不可能全消除流程中的每一個(ge) 水分子，但我們(men) 應該借助準確測量工具很大程度上減少水分含量。

潔淨室暖通空調：

潔淨室暖通空調(HVAC)係統通常內(nei) 置在空氣處理裝置或風扇過濾裝置中。水分可能會(hui) 汙染工藝過程、與(yu) 工藝過程中的化學品發生反應或導致靜電放電(ESD)問題。某些情況下需要達到+/−2%的相對濕度測量準確度以及+/−0.25°C的溫度測量準確度。維薩拉變送器非常適合用於(yu) 控製通風機內(nei) 部或潔淨室牆壁上的空調機。

根據在潔淨室中進行的工藝過程，目標濕度和溫度可能有所不同。維薩拉的HUMICAP®傳(chuan) 感器技術在任何環境下的響應都非常迅速，而且準確度高，具有出色的長期穩定性和較長的維護間隔。HUMICAP®傳(chuan) 感器基於(yu) 聚合物薄膜技術，並且在維薩拉自己的潔淨室中製造。

工藝管線氣體(ti) 質量：

潔淨室操作需要高質量的過程氣體(ti) ，監測工藝管線氣體(ti) 中的濕度水平可防止可能導致材料損失的水分汙染。目標通常是盡量降低含水率，為(wei) 此要監測的正確參數是露點。選擇傳(chuan) 感器時，響應速度快和耐冷凝特性非常重要，因為(wei) 這二者有助於(yu) 確保可靠操作，即使在長時間停機後還能實現工藝過程平穩加速。

維薩拉DRYCAP®技術采用我們(men) 專(zhuan) 有的聚合物薄膜技術，該技術可實現高靈敏度、針對各種環境和應用進行靈活優(you) 化，即使在惡劣環境下也具有長期穩定性。淨化功能可以去除薄膜中不需要的殘留物，即使在次優(you) 條件下也能確保長期準確度。

維薩拉自動校準功能使用專(zhuan) 有設計和算法，可消除環境老化對傳(chuan) 感器結構的影響。長期監測傳(chuan) 感器性能有助於(yu) 傳(chuan) 感器糾正靈敏度變化，提高長期穩定性，使其使用壽命遠遠超出傳(chuan) 統的傳(chuan) 感器，並減少惡劣環境條件對其性能的影響。維薩拉傳(chuan) 感器響應速度快，能夠在係統發生故障時迅速做出反應以防止材料損失。

壓縮空氣質量：

壓縮空氣潔淨度對於(yu) 大多數工業(ye) 設施的潔淨室環境至關(guan) 重要，因此目標多餘(yu) 水分含量非常低：目標露點水平可低於(yu) −80°C，通常係統會(hui) 設置多個(ge) 警報級別，一旦超出此目標水平即發出警報。維薩拉產(chan) 品在整個(ge) 測量範圍內(nei) 都經過嚴(yan) 格測試和校準，以確保傳(chuan) 感器讀數高度準確，降低高成本的過度幹燥風險。維薩拉濕度傳(chuan) 感器單元的響應非常迅速，可以及時發出警報，使客戶能夠快速識別和解決(jue) 任何問題。

微型露點變送器DMT143和DMT143L（長型）——（針對OEM應用）：

當您想要準確地測量小型壓縮空氣幹燥機、塑料幹燥機、添加劑生產(chan) 和其他OEM應用場合內(nei) 的露點時，微尺寸露點變送器DMT143和DMT143L是您的理想選擇。它們(men) 很容易集成，並可以應用於(yu) 手持式維薩拉DM70中。長型設備已取代DMT242。

特點：

•可進行自動校準的維薩拉DRYCAP®技術

•快速響應時間

•露點測量範圍為(wei) -70...+60°C(-94...+140°F)

•準確度為(wei) ±2ºC(±3.6ºF)

•防冷凝

•與(yu) 維薩拉DRYCAP®手持式露點儀(yi) DM70兼容

•可溯源的校準（包括證書(shu) ）

•超過露點水平時觸發LED報警