超越所見，不負所托

智能潔淨室技術為(wei) IC製造保駕護航

——訪中電四公司市場管理總經理張琪

       隨著市場環境的優(you) 化升級和國家政策的有利驅動，新能源汽車、智能駕駛、智能終端和5G等對集成電路的需求激增。而作為(wei) 典型的高精尖產(chan) 業(ye) ，集成電路的製造對生產(chan) 環境和工藝的要求苛刻。其中，潔淨室的建設是集成電路製造中的關(guan) 鍵環節，對產(chan) 品的性能具有至關(guan) 重要的影響。

       作為(wei) 我國專(zhuan) 業(ye) 從(cong) 事潔淨室機電設備安裝的工程公司之一，中國電子係統工程第四建設有限公司（以下簡稱“中電四公司"）可為(wei) 集成電路製造企業(ye) 提供設計、采購、項目管理、施工、設施管理、潔淨室配套產(chan) 品製造等一體(ti) 化“交鑰匙"工程服務。

       2021年，在為(wei) 北京集電控股有限公司（以下簡稱“北京集電"）建設集成電路車間潔淨室項目中，中電四公司為(wei) 滿足客戶對環境監測的高精度和高穩定性要求，選擇與(yu) 維薩拉合作，將工業(ye) 用溫濕度變送器HMT330、溫濕度變送器HMT370EX和溫濕度變送器HMT120等係列產(chan) 品，成功應用於(yu) 北京集電廠房潔淨室。自應用以來，相關(guan) 儀(yi) 表和變送器運行穩定，測量準確。

纖毫必顯 打造高標準的潔淨車間

       穿戴嚴(yan) 密封閉的特製防護服和鞋套，經過嚴(yan) 格的車間消殺流程，再通過數道相互獨立隔離的車間閘門，操作員方能進入標準嚴(yan) 苛的集成電路廠房潔淨室。不同於(yu) 一般工業(ye) 品，集成電路從(cong) 單晶矽片製造到IC製造再到IC封裝的重要步驟，均需在潔淨室中完成。無論是微小的粉塵和碎屑，還是無形的環境溫度和濕度等，都將對製造過程產(chan) 生重大影響。

       “集成電路的製造對生產(chan) 環境的要求非常高，需要對溫度、濕度等參數進行準確、穩定的測量，從(cong) 而確保生產(chan) 環境的穩定可靠。"中電四公司市場管理總經理張琪表示，“2020年，早在北京集電潔淨室項目的投標階段，我們(men) 知道維薩拉的相關(guan) 產(chan) 品客戶對溫濕度測量的苛刻需求。於(yu) 是，我們(men) 決(jue) 定采用維薩拉產(chan) 品作為(wei) 測量儀(yi) 表進行投標，由此也開啟了與(yu) 維薩拉一係列的深度合作。"

       隨著我國集成電路製造工藝的升級，其製造過程需要的潔淨程度也水漲船高，這對於(yu) 潔淨室的建設提出了越來越高的要求。據介紹，北京集電所製造的集成電路工藝目前已突破28納米，對應的潔淨室環境溫度誤差為(wei) ±0.3°C，濕度誤差為(wei) ±3。一旦溫度和濕度突破限定誤差，將顯著影響產(chan) 品的良品率、使用性能和可靠性。

       針對上述應用環境，維薩拉的多款產(chan) 品如HMT330、HMT120和HMT370EX在其中扮演重要角色。其中，HMT330可在惡劣環境中和苛刻需求下實現測量，還可針對不同的應用環境實現定製，從(cong) 而滿足多樣的客戶需求。HMT120則是一款專(zhuan) 為(wei) 潔淨室等環境打造的溫濕度變送器，智能測量探頭可現場更換，輕鬆實現測量的可追溯性。

       值得一提的是具有“本質"功能的溫濕度變送器HMT370EX。即使在誤操作或發生故障的情況下，這款產(chan) 品也不會(hui) 造成事故或設備損壞。截至目前，該產(chan) 品已獲得多項本質認證。除測量相對濕度和溫度外，HMT370EX還支持輸出其他濕度參數，如露點溫度、濕球溫度、濕度、混合比、水濃度、水質量分數、水汽壓和焓值。

       “維薩拉產(chan) 品的測量精度不僅(jin) 潔淨室的設計標準，更大幅壓縮了標準誤差的範圍：將其降低至誤差的三分之一，達到了濕度±1、溫度±0.1°C，充分保障了潔淨室的可靠運行。"張琪補充道，“出於(yu) 項目整體(ti) 精度和穩定性的考慮，維薩拉的測量儀(yi) 表成為(wei) 我們(men) 這個(ge) 項目的理想選擇。"

擊破阻隔 跨越重洋的迅疾響應

       對於(yu) 高精尖的工程建設而言，時效的重要性不言而喻。項目所需的各項產(chan) 品和材料往往有著嚴(yan) 格的供貨周期，某項關(guan) 鍵材料的缺失，將直接影響項目的進度。而全球疫情的起伏不定，給產(chan) 品的供貨時效增添了一抹不確定性。

       “國際物流需提前預定，疊加疫情影響，一些材料和產(chan) 品需要提前半年甚至更久預定。"張琪表示，“然而北京集電的項目周期非常緊張，高質量的測量產(chan) 品對項目的完成意義(yi) 重大，我們(men) 一度非常擔心維薩拉的產(chan) 品能否及時到貨。"

       事急從(cong) 權。在產(chan) 品供貨緊張的背景下，維薩拉及其代理商配合，在與(yu) 中電四公司達成初步購買(mai) 意向、尚未簽署正式購買(mai) 合同時，提前鎖定了項目所需的產(chan) 品，並充分協調內(nei) 外部資源，將產(chan) 品如期送抵客戶手中。

       “北京集電的項目如期竣工，各項指標均達到了預期水平。截至目前，相關(guan) 項目設備運行穩定，客戶未反饋任何售後需求。而沒有售後需求，也是對我們(men) 產(chan) 品質量的高度認可。"談及雙方的合作過程，張琪感觸良多，“為(wei) 了我們(men) 的項目，維薩拉的對接同事克服了很多困難，給予了支持。這增進了我們(men) 雙方的信任，讓我們(men) 很感動，也為(wei) 後續的合作奠定了良好的基礎。"

       每年，像潔淨室建設之類的專(zhuan) 業(ye) 承包約占中電四公司總工程量的50。特別是在超大麵積潔淨室、超淨潔淨室、高空間潔淨室、超精度潔淨室的建設方麵，中電四公司有著豐(feng) 富的工程經驗和相關(guan) 工程技術。

       與(yu) 此同時，維薩拉也憑借著穩定可靠的產(chan) 品性能、過硬的產(chan) 品和快速響應的服務，贏得了中電四公司的青睞與(yu) 信任。相信在不遠的未來，維薩拉將與(yu) 中電四公司開展更為(wei) 深入的戰略合作，助力雙方的品牌出現在更多高精尖產(chan) 品的打造和應用場景之中。